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薄膜ライブラリーの合成

薄膜ライブラリーの合成

1. 温度傾斜堆積による目的物質合成条件の最適化

2. 2元・3元塑性傾斜薄膜の合成による相図の構築と組成最適化

3. 領域内均一組成の試料群を多数合成し、評価技術とのコンパチビリティーを向上

4. 薄膜の膜厚方向の構造を任意に制御できるパラメータ制御で超格子新物質やデバイス最適化が可能になります。