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コメットからの製品

 高誘電体材料HfO2-Al2O3-Y2O3
 

1. コンビナトリアル手法で開発された高誘電体材料HfO2-Al2O3-Y2O3

2. 4インチスパッタ用ターゲット Cuバッキングプレートあり)

3. 誘電率:ε=18

4. 高い誘電率と膜中の固定電荷の低減を実現している。

5. 酸化物FETなどのゲート絶縁膜として有効。