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  プロダクト

新機能性材料の発見・開発のお手伝いを、知と装置・設備の面からお手伝いをします。
半導体・酸化物・磁性体等の薄膜分野において、コンビナトリアルのハイスループット成膜装置や評価装置を販売するとともに、設備と材料ライブラリーの提供も行っていきます。
 
   
 コンビナトリアル・スパッタ装置:
CMS-6420
    超小型コンビPLD装置:
モバイル・コンビPLD
 

 ハイスループット・薄膜
  ハイスループット・バルク 
 合成    合成
ハイスループット合成装置
薄膜ライブラリーの合成
  ハイスループット合成装置
ガラスライブラリーの合成
 評価   評価 
Combi薄膜XRDによる構造マッピング
蛍光XRDによる組成評価マッピング
電気計測(I-V,C-V)
材料(誘電体・金属合金)の評価
 
  Combi XRDによる生成相同定
DTA(示差熱分析)評価
表面硬度評価
光吸収・反射スペクトラム評価