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Combi薄膜XRDによる構造マッピング

 Combi薄膜XRD  
 

1. 格子工学ライブラリーの構造を一括評価するX線回折も解析ソフトを含め市販レベルに達し、薄膜の構造や歪みを一括評価できます。

 

Combi薄膜XRD
(Combinatorial Thin Film X-ray Diffractometer)


Combi薄膜の構造マッピング例 
 
 

1. 単結晶基板上のエピタキシャル薄膜の高精度分析に特化した装置です

2. 試料上の位置分解能:100ミクロン

3. 回折角度分解能:0.025度(Cu Kα1のみ使用)

4. 一括分析可能領域:12mm×100ミクロン

5. 試料走査により分解能100ミクロンの顕微鏡としても使用可能